特許
J-GLOBAL ID:200903041212194550
耐プラズマ性ふっ素系エラストマー成形体
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小栗 昌平 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-370402
公開番号(公開出願番号):特開2002-173543
出願日: 2000年12月05日
公開日(公表日): 2002年06月21日
要約:
【要約】【課題】 圧縮永久ひずみ、耐プラズマ性、シール性が従来よりも格段に優れたふっ素系エラストマー成形体を提供する。【解決手段】 ふっ素系エラストマー、好ましくはふっ素系熱可塑性エラストマーを、電離性放射線によって架橋してなることを特徴とする耐プラズマ性ふっ素系エラストマー成形体。
請求項(抜粋):
ふっ素系エラストマーを、電離性放射線によって架橋してなることを特徴とする耐プラズマ性ふっ素系エラストマー成形体。
IPC (9件):
C08J 7/00 305
, C08J 7/00 CEW
, B01J 19/02
, B01J 19/12
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
, H05H 1/46
, C08L 15:02
, C08L 27:12
FI (9件):
C08J 7/00 305
, C08J 7/00 CEW Z
, B01J 19/02
, B01J 19/12 C
, H01L 21/205
, H05H 1/46 A
, C08L 15:02
, C08L 27:12
, H01L 21/302 B
Fターム (35件):
4F073AA05
, 4F073BA15
, 4F073BA41
, 4F073CA41
, 4F073CA42
, 4F073EA62
, 4F073EA63
, 4F073EA76
, 4G075AA32
, 4G075BA02
, 4G075BA05
, 4G075BA10
, 4G075CA02
, 4G075CA39
, 4G075CA51
, 4G075DA13
, 4G075EB01
, 4G075FB12
, 4G075FB13
, 4G075FC09
, 4G075FC17
, 5F004BB29
, 5F004BD01
, 5F004BD04
, 5F004DA00
, 5F004DA01
, 5F004DA02
, 5F004DA04
, 5F004DA11
, 5F004DA16
, 5F004DA17
, 5F004DA24
, 5F004DA26
, 5F045AA08
, 5F045EC05
引用特許:
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