インクジェットヘッドの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐々木宗治 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-239895
公開番号（公開出願番号）：特開2001-063071
出願日： 1999年08月26日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
要約：

【要約】【課題】加工時間を短縮して製造効率を向上させたインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】インクキャビティ用凹部2と、インクリザーバ用凹部4と、インクキャビティ用凹部2とインクリザーバ用凹部4とを連結する供給路用凹部3と、インク吐出用のノズル35とが形成されたSi基板を構成部材とするインクジェットヘッドの製造方法において、Si基板1の一方の面側をエッチングにより穿孔してインク吐出用のノズル用凹部5を形成する工程と、ノズル用凹部5の底部に貫通孔5bを形成する工程と、貫通孔5bが形成された部分のSi基板の他方の面側を湿式エッチングにより穿孔してインクキャビティ用凹部2を形成するとともにインク吐出用のノズル35を形成する工程とを有する。

請求項（抜粋）：

インクキャビティ用凹部と、インクリザーバー用凹部と、前記インクキャビティ用凹部と前記インクリザーバー用凹部とを連結する供給路用凹部と、インク吐出用のノズルとが形成されたSi基板を構成部材とするインクジェットヘッドの製造方法において、Si基板の一方の面側をエッチングにより穿孔してインク吐出用のノズル用凹部を形成する工程と、該ノズル用凹部の底部に貫通孔を形成する工程と、湿式エッチングにより前記インクキャビティ用凹部を形成するとともにインク吐出用のノズルを形成する工程とを有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (4件)：

B41J 2/16 , B23K 26/00 330 , B23K 26/06 , B23K101:36

FI (3件)：

B41J 3/04 103 H , B23K 26/00 330 , B23K 26/06 E

Fターム (17件)：

2C057AF93 , 2C057AG07 , 2C057AG12 , 2C057AP02 , 2C057AP12 , 2C057AP23 , 2C057AP24 , 2C057AP26 , 2C057AP31 , 2C057AP32 , 2C057AP34 , 2C057AP56 , 2C057AP60 , 2C057AQ02 , 4E068AF01 , 4E068CB10 , 4E068DA00

引用特許：

出願人引用 (1件)

ノズルプレートの製造方法、インクジェットヘッド、ノズルプレート及びインクジェット記録装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-048404 出願人：セイコーエプソン株式会社

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