高強度単色性原子ビーム源

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-321251
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134041
出願日： 2000年10月20日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：

【要約】【課題】高解離率の原子生成を実現し、高純度かつ高強度の単色原子ビームを安定して長期間に渡り出力可能な原子ビーム源を提供する。【解決手段】マイクロ波キャビティ(5)で覆われた石英ガラス管(6)内部に導入される放電ガスをマイクロ波キャビティ(5)によるマイクロ波照射によりプラズマ点火し原子流の生成を行う放電部(1)と、放電部(1)へガスを導入する放電ガス導入部(2)と、放電部(1)の冷却を行う冷却部(3)と、管状の構造を持ち放電部(1)で生成される原子流を差動排気装置内のスキマーまで輸送する輸送部(4)とを備え、放電部(1)においては、石英ガラス管(6)の両端部の管径が両端部以外の部分の管径より小さくなるように絞り込まれており、輸送部(4)においては、内壁が弗素樹脂によりコーティングされており、また、冷却部においては、放電部の温度が常に一定温度以下となるようにする。

請求項（抜粋）：

原子を生成させ、これを原子ビームとするための原子ビーム源であって、管内部に導入されるガスのプラズマ放電により原子を生成させる放電部と、放電部へガスを導入する管状の放電ガス導入部と、放電部の冷却を行う冷却部と、放電部で生成される原子を輸送する管状の輸送部とを備え、放電部の両端部の管径もしくは管断面積が、放電部両端部間並びに放電部に連通している放電ガス導入部および輸送部よりも小さくなるように絞り込まれていることを特徴とする高強度単色性原子ビーム源。

IPC (3件)：

H01J 27/02 , H01J 27/16 , H01J 37/08

FI (3件)：

H01J 27/02 , H01J 27/16 , H01J 37/08

Fターム (4件)：

5C030DD02 , 5C030DE05 , 5C030DE10 , 5C030DG09

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭64-071097
特開平1-176700
分子線発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-099980 出願人：富士通株式会社

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