温度制御装置及び同装置のバルブ制御部

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上村輝之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-091556
公開番号（公開出願番号）：特開2000-284832
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】低温の循環流体をランプヒータで加熱して流体の温度制御を行う場合、制御の応答性と精度を高める。【解決手段】流体循環供給系31を循環する流体は、チラー32で冷却され、熱交換器33内のランプヒータで加熱される。ランプ制御部41は、ランプ出力を制御することで、流体の温度を設定温度に制御する。バルブ制御部43は、ヒータ出力が、制御に適した出力設定範囲内に入るように、チラー通路37の流量制御弁34とバイパス通路35の流量制御弁36の混合比を調節する。更に、バルブ制御部43は、開度と流量との関係が、開度の分解能が高温域で細かく低温域で粗くなるような重み付けを線形関係に加味した関係となるように、且つ、2つの流量制御弁34、36の流量を合計した循環流量が常に一定になるように、開度と2つの弁34、36の操作量(パルス数)との対応関係を定める。

請求項（抜粋）：

流体を循環させつつ設定温度に調整した流体を温度制御対象に供給する流体循環供給系と、前記流体循環供給系において、前記温度制御対象から出てきた流体と熱交換する第1の熱交換手段と、前記流体循環供給系において、前記温度制御対象に供給される流体と熱交換する第2の熱交換手段と、前記第1の熱交換手段を通る流体の流量を制御する流量制御弁と、前記第2の熱交換手段の熱交換量を所定の設定範囲内に入れるために、前記流量調節弁を制御して前記第1熱交換手段を通る流量を調節するバルブ制御部と、前記温度制御対象に供給される流体の温度を前記設定温度に調整するために、前記第2の熱交換手段の熱交換量を制御する熱交換制御部と、を備え、前記バルブ制御部は、前記流量制御弁の開度を決定する開度決定部と、前記開度から前記流量制御弁の操作量を決定する操作量決定部と、前記操作量を用いて前記流量制御弁を操作する弁操作部とを有し、前記操作量決定部は、前記流量制御弁がもつ前記操作量と流量との非線形な関係を補償して、前記開度と前記流量との関係が所定の理想的関係になるように、前記開度を前記操作量に変換するための開度-操作量変換手段を有する、温度制御装置。

IPC (5件)：

G05D 23/19 , G05B 11/36 507 , G05B 11/36 , H01L 21/3065 , H01L 21/31

FI (5件)：

G05D 23/19 H , G05B 11/36 507 F , G05B 11/36 507 H , H01L 21/31 B , H01L 21/302 B

Fターム (54件)：

5F004AA16 , 5F004BB25 , 5F004BB26 , 5F004CA04 , 5F004CA08 , 5F045EJ04 , 5F045EJ05 , 5F045EJ09 , 5F045EK10 , 5F045GB05 , 5F045GB16 , 5H004GA02 , 5H004GB01 , 5H004HA01 , 5H004HA02 , 5H004HA16 , 5H004HB01 , 5H004HB02 , 5H004JA04 , 5H004JA14 , 5H004KA24 , 5H004KA41 , 5H004KA44 , 5H004KA54 , 5H004KA69 , 5H004KB37 , 5H004LA05 , 5H004LA16 , 5H004LA18 , 5H004MA41 , 5H323BB04 , 5H323CA04 , 5H323CB04 , 5H323CB23 , 5H323CB33 , 5H323CB35 , 5H323CB40 , 5H323CB43 , 5H323CB45 , 5H323DA01 , 5H323DA04 , 5H323DA06 , 5H323DB15 , 5H323EE05 , 5H323EE17 , 5H323FF01 , 5H323HH02 , 5H323JJ06 , 5H323KK05 , 5H323LL01 , 5H323LL02 , 5H323LL11 , 5H323LL18 , 5H323MM06

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭60-225213
コージエネレーシヨン・システムの熱交換回路の流量制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-280292 出願人：三菱重工業株式会社
特開昭54-130772

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