特許

J-GLOBAL ID：200903041289263911

化学機械研磨用窓材及び研磨パッド

発明者： 金野 智久 ,  元成 正之 ,  服部 雅幸 ,  長谷川 亨 ,  川橋 信夫
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 小島 清路 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-329662
公開番号（公開出願番号）：特開2003-133270
出願日： 2001年10月26日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：

【要約】【課題】 防汚性に優れ、透明で且つ耐擦傷性に優れる化学機械研磨用窓材及び研磨パッドを提供する。更に、光学式終点検出装置を用いた半導体ウエハの研磨において、終点検出用光を透過させることにより半導体ウエハ表面の研磨の終点検出を容易に行うことができる化学機械研磨用窓材及び研磨パッドを提供する。【解決手段】 本化学機械研磨用窓材12は、少なくとも一部が透明な基体部(ポリウレタン樹脂等)12aと、該基体部の少なくとも一方の面に形成された防汚性樹脂層12bと、を備える。この防汚性樹脂層は、主鎖中にポリシロキサンセグメントを有するフッ素系重合体が好ましい。本研磨パッド1は窓材12が、表裏に貫通する貫通孔を備える研磨パッド用基体(ポリウレタン樹脂等、円盤状又はベルト形状等)11の貫通孔内に嵌合されているもの又は貫通孔の底面を覆うように研磨パッド用基体に接着されているものとすることができる。

請求項（抜粋）：

少なくとも一部が透明な基体部と、該基体部の少なくとも一方の面に形成された防汚性樹脂層とを備えることを特徴とする化学機械研磨用窓材。

IPC (6件)：

H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/00 ,  B32B 27/08 ,  C08J 5/14 CFF ,  C08L 75:04

FI (6件)：

H01L 21/304 622 F ,  H01L 21/304 622 S ,  B24B 37/00 C ,  B32B 27/08 ,  C08J 5/14 CFF ,  C08L 75:04

Fターム (36件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AC01 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17 ,  4F071AA53 ,  4F071DA19 ,  4F100AH06B ,  4F100AJ06A ,  4F100AK01B ,  4F100AK02A ,  4F100AK03A ,  4F100AK03B ,  4F100AK03K ,  4F100AK12A ,  4F100AK12J ,  4F100AK17B ,  4F100AK25A ,  4F100AK25J ,  4F100AK41A ,  4F100AK45A ,  4F100AK51A ,  4F100AK52B ,  4F100AK55A ,  4F100AL01A ,  4F100AL05B ,  4F100AL06B ,  4F100AR00A ,  4F100BA02 ,  4F100GB51 ,  4F100JB12B ,  4F100JK09 ,  4F100JK12 ,  4F100JL06 ,  4F100JN01A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 可動窓付きウエハ研磨器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-063211   出願人：ラムリサーチコーポレイション