可動窓付きウエハ研磨器

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-063211
公開番号（公開出願番号）：特開平11-320373
出願日： 1999年03月10日
公開日（公表日）： 1999年11月24日
要約：

【要約】【課題】 CMP工程中のウェーハの現場モニターのために使用される可動式窓付きの研磨器を提供すること。【解決手段】ほとんどのCMP工程中において、研磨処理の有害な影響から窓を保護するために窓は研磨器の研磨面より下にある。窓がウェーハと測定センサーの間の位置に移動するとき、窓は研磨面により近づくことになる。この位置において前記窓のへこみに溜った少なくともいくらかの研磨剤は除去されるので、研磨剤による障害物が低減された状態で、現場測定を実施することができる。窓はウェーハと測定センサーから遠ざかった後、窓はウェーハと研磨面から更に遠のいた位置に移動する。このような可動式窓を使用すると、現行の研磨器に付随する制限を克服できる。

請求項（抜粋）：

研磨面を含み且つ閉ループ型形状であるベルトと、第1面を含み且つ第1位置と第2位置の間を移動するため前記ベルトに内に移動可能に配置された窓であって、前記第1面は前記第1位置よりも前記第2位置において前記研磨面により接近する、そのような窓とから成ることを特徴とする化学機械研磨部材。

IPC (3件)：

B24B 21/18 , B24B 37/04 , B24B 49/12

FI (3件)：

B24B 21/18 Z , B24B 37/04 K , B24B 49/12

引用特許：

審査官引用 (4件)

機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドへの透明窓の形成
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-221737 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
加工量モニターウエハ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-190076 出願人：東芝セラミックス株式会社
ポリッシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-208814 出願人：株式会社荏原製作所

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