特許
J-GLOBAL ID:200903041309568056
フィルムヒータ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
足立 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-345794
公開番号(公開出願番号):特開2004-179058
出願日: 2002年11月28日
公開日(公表日): 2004年06月24日
要約:
【課題】薄膜化が可能であり、製造コストを低減することができ、重量が軽いフィルムヒータを提供すること。【解決手段】周知の方法により、PESから成る基体層7を所定の寸法に成形した。この基体層7をスパッタマシンに導入し、SiO2のターゲットを用いて、スパッタリングにより、中間層9を形成した。次に、スパッタマシンのターゲットをステンレスに交換し、スパッタリングにより、薄膜発熱層9を形成した。更に、薄膜発熱層9の両端の所定の範囲に、銀ペーストを塗布し、乾燥させることにより、電極層11を形成し、フィルムヒータ1を完成した。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
基体層と、
前記基体層の片面又は両面に、スパッタリングにより形成された薄膜発熱層と、を備えることを特徴とするフィルムヒータ。
IPC (3件):
H05B3/20
, H05B3/10
, H05B3/12
FI (3件):
H05B3/20 318
, H05B3/10 A
, H05B3/12 A
Fターム (18件):
3K034AA02
, 3K034AA03
, 3K034AA06
, 3K034AA15
, 3K034BB08
, 3K034BB13
, 3K034BC01
, 3K034BC12
, 3K034CA24
, 3K034JA09
, 3K092QA05
, 3K092QB02
, 3K092QB30
, 3K092RF02
, 3K092RF13
, 3K092RF17
, 3K092RF22
, 3K092VV40
引用特許:
審査官引用 (3件)
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透明面状ヒーターの製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-331991
出願人:三井東圧化学株式会社
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特開昭58-103793
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特開昭58-103793
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