特許
J-GLOBAL ID：200903041319469269
板状透明体の欠点検出方法及び同装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下田 容一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-048477
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235433
出願日： 2000年02月25日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：
【要約】【課題】 小さい若しくは微小の欠点検出が可能であって、照明光を効果的に利用することのできる板状透明体の欠点検出技術を提供する。【解決手段】 照明13は互いに平行に且つ一定の間隙14を開けて配置した左の棒状ランプ13L及び右の棒状ランプ13Rからなり、撮像装置12の視野V内に幅wの間隙14とこの間隙14に隣接する左の棒状ランプ13Lの一部(幅δl)及び右の棒状ランプ13Rの一部(幅δr)が入るように、間隙14の幅wを設定したことを特徴とする。【効果】 板状透明体に存在する欠点は暗視野中に置かれるため、明視野照明法では検出できないような微小の欠点をも検出可能となる。しかも、ランプを撮像装置の光軸近傍に置くことができるためランプ光を弱めること無く効果的に活用することができる。
請求項（抜粋）：
撮像装置、板状透明体、照明をこの順に並べ、前記照明は互いに平行に且つ一定の間隙を開けて配置した2本の左右の棒状ランプとし、撮像装置の視野内に前記間隙とこの間隙に隣接する左の棒状ランプの一部及び前記間隙に隣接する右の棒状ランプの一部が入るように、前記間隙の幅を設定しておき、欠点の無い板状透明体を見たときに撮像装置で受ける受光量を基準にして、検査すべき板状透明体を見たときに撮像装置で受ける受光量が増加若しくは減少したときに欠点があると判定することを特徴とする板状透明体の欠点検出方法。
Fターム (18件)：
2G051AA42
, 2G051AA84
, 2G051AA90
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051AB20
, 2G051BA02
, 2G051BA20
, 2G051BB05
, 2G051BC01
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CB02
, 2G051EB01
, 2G051EB02
, 2G051EC01
, 2G051ED07
, 2G051FA10
