特許
J-GLOBAL ID：200903041343335524

位置制御方法および位置制御装置

発明者：
岡本 卓治

岡本 卓治 について

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柳 栄一

柳 栄一 について

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西本 義文

西本 義文 について

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鈴木 正晴

鈴木 正晴 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について

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キヤノン精機株式会社

キヤノン精機株式会社 について


代理人 (1件)： 西山 恵三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-216745
公開番号（公開出願番号）：特開2003-029844
出願日： 2001年07月17日
公開日（公表日）： 2003年01月31日
要約：
【要約】【課題】 振動等の外乱に強く、しかも高精度な位置決めを可能とする位置制御方法および位置制御装置を提供する。【解決手段】 ベース部材に対して所定方向における相対移動が可能なテーブル部材にねじ部が設けてあり、ベース部材に回転可能に固定され、テーブル部材のねじ部と嵌合するねじ軸が設けられている。このねじ軸をモータにより回転させることでテーブル部材をねじ軸に沿って変位させる。モータを回転させることによりねじ軸をねじれ方向に弾性変形させ、弾性変形した状態のままテーブル部材を変位させる。モータを停止する場合には、ねじ軸を弾性変形させたままの状態で保持する。
請求項（抜粋）：
ベース部材に対して所定方向における相対移動が可能なテーブル部材にねじ部が設けてあり、前記ベース部材に回転可能に固定され、前記ねじ部と嵌合するねじ軸をモータにより回転させることにより前記テーブル部材をねじ軸に沿って変位させる位置制御方法において、前記モータを回転させることにより前記ねじ軸をねじれ方向に弾性変形させた状態で前記テーブル部材を変位させ、モータを停止時においても前記ねじ軸を弾性変形させた状態で保持することを特徴とする位置制御方法。
IPC (4件)：
G05D 3/12 305 ,  F16H 25/20 ,  F16H 25/24 ,  F16H 35/00
FI (6件)：
G05D 3/12 305 L ,  F16H 25/20 B ,  F16H 25/20 G ,  F16H 25/20 H ,  F16H 25/24 A ,  F16H 35/00 H
Fターム (23件)：
3J062AB22 ,  3J062AC07 ,  3J062BA14 ,  3J062CD02 ,  3J062CD12 ,  3J062CD22 ,  3J062CD45 ,  3J062CD79 ,  5H303AA01 ,  5H303AA04 ,  5H303BB01 ,  5H303BB06 ,  5H303BB11 ,  5H303CC09 ,  5H303DD01 ,  5H303DD21 ,  5H303DD25 ,  5H303EE03 ,  5H303EE08 ,  5H303FF04 ,  5H303GG13 ,  5H303HH02 ,  5H303KK10
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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