特許

J-GLOBAL ID：200903041349140695

電界磁気レンズ装置及び荷電粒子線装置

発明者： ハンス・ペータ フオイエルバウム ,  ユルゲン フロジエン ,  コウシ ウエダ ,  トシミチ イワイ ,  ゲラルド シェーネッカー
出願人/特許権者： エイシーティー アドバンスト サーキット テスティング ゲゼルシャフト フュア テストジュステームエントヴィックリング ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-029093
公開番号（公開出願番号）：特開平9-320501
出願日： 1997年02月13日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】 低電圧領域にて大きな作動距離と良好な解像度及びレンズ特性を有する電界磁気レンズ装置及び荷電粒子線装置を提供することをを目的とする。【解決手段】 本発明は荷電粒子の焦点合わせをするための電界磁気レンズ装置とそのような電界磁気レンズ装置を備えた荷電粒子線装置に関し、電界磁気レンズ装置は磁気レンズと磁気レンズに組み込まれた電界レンズとを有し、磁気レンズは単極レンズとして構成されている。

請求項（抜粋）：

磁気レンズと該磁気レンズ内に配置された電界レンズ(62)とを有し荷電粒子を焦点合わせするための電界磁気レンズ装置において、上記磁気レンズは単極レンズ(61、61’、61”)として構成されていることを特徴とする電界磁気レンズ装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-298633
  
• 特開昭61-101944
  
• 粒子線装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-163940   出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト