特許
J-GLOBAL ID：200903041360466608

基板検査装置及び基板検査方法

発明者：
伊藤 健一

伊藤 健一 について


出願人/特許権者：
芝浦メカトロニクス株式会社

芝浦メカトロニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-266922
公開番号（公開出願番号）：特開2003-075366
出願日： 2001年09月04日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：
【要約】【課題】 透過型センサや反射型センサを用いたACFのめくれ検査では、リードの狭ピッチ化及び省スペース化を図りながら、且つACFのめくれ状態の誤検出率を減少させることは困難であった。【解決手段】 ACF3が貼り付けられた基板1をビデオカメラ6で撮像して得た画像を画像処理部7で2値化する。この2値化画像の白画素数又は黒画素数をカウント部10で計数し、更に前記計数値と予めしきい値保持部12に保持していたしきい値とを比較回路11で比較して、ACFの貼り付け状態が正常であるか、或いはACFがめくれて異常であるかを判定する。
請求項（抜粋）：
検査対象物が貼り付けられた基板の画像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された画像を画素毎に白黒2値化する画像2値化手段と、前記画像2値化手段により2値化された白黒2値化画像の白画素数又は黒画素数の少なくとも一方を計数する計数手段と、前記計数手段により計数された計数値と予め設定されたしきい値とを比較して、前記検査対象物の貼り付け状態が正常か或いは異常かを判定する判定手段と、を具備することを特徴とする基板検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/956 ,  G09F 9/00 348 ,  G09F 9/00 352 ,  G02F 1/13 101
FI (4件)：
G01N 21/956 B ,  G09F 9/00 348 Z ,  G09F 9/00 352 ,  G02F 1/13 101
Fターム (22件)：
2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051ED09 ,  2H088FA12 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA24 ,  2H088FA28 ,  2H088FA30 ,  2H088HA05 ,  2H088MA16 ,  5G435AA17 ,  5G435EE33 ,  5G435EE42 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10
引用特許：
審査官引用 (5件)
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