特許
J-GLOBAL ID:200903041388154490

測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  坪井 淳 ,  河野 哲 ,  風間 鉄也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-338001
公開番号(公開出願番号):特開2004-170307
出願日: 2002年11月21日
公開日(公表日): 2004年06月17日
要約:
【課題】試料に関するデータを長時間安定して測定できる測定装置を提供する。【解決手段】試料9上の測定点からの光を光検出装置6で検出し、この検出した光強度値を統計解析装置7で統計解析するとともに、データ処理装置8より光強度値に基づいて測定点を移動させる測定点移動命令を出力し、この測定点移動命令に従って測定点移動装置3により試料9上の測定点を移動させる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
試料上の測定点からの光を検出し光強度値を出力する光検出手段と、 前記光検出手段の光強度値を統計解析する統計解析手段と、 前記光検出手段の光強度値に基づいて前記測定点を移動させる測定点移動命令を出力するデータ処理手段と、 前記データ処理手段の測定点移動命令に従って前記試料上の測定点を移動させる測定点移動手段と を具備したことを特徴とする測定装置。
IPC (2件):
G01N21/64 ,  G01J3/443
FI (2件):
G01N21/64 Z ,  G01J3/443
Fターム (22件):
2G020AA04 ,  2G020CA01 ,  2G020CB43 ,  2G020CD24 ,  2G020CD36 ,  2G020CD37 ,  2G043AA03 ,  2G043BA16 ,  2G043DA01 ,  2G043EA01 ,  2G043FA01 ,  2G043FA02 ,  2G043GA01 ,  2G043GB19 ,  2G043HA02 ,  2G043JA01 ,  2G043KA02 ,  2G043KA05 ,  2G043KA09 ,  2G043LA01 ,  2G043MA16 ,  2G043NA01
引用特許:
審査官引用 (3件)

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