特許
J-GLOBAL ID:200903027745830960

光学式スキャナ較正装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 古谷 馨 (外2名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-601421
公開番号(公開出願番号):特表2002-538427
出願日: 2000年02月25日
公開日(公表日): 2002年11月12日
要約:
【要約】較正中、可変光学減衰器の種々の指数設定において、励起ビームの光学的出力を測定する電力計を含む光学式走査システムに関する。このシステムは、源衰器の指数設定に対して入射励起ビーム出力を関連させるルックアップテーブルを構成し、その後、特徴付けられた光学出力の励起ビームを試料に供給するために、このテーブルを使用して、減衰器に対する適切な設定を選択する。このシステムは、公知の強度の励起ビームを検出器に対して再度方向付けすること、もしくは反射することによって、検出器の利得を較正する。このシステムは、検出器の実際の利得に対して利得設定を関連させるルックアップテーブルを創り出し、その後、このテーブルを使用して、データ収集に関する適切な利得設定を選択し、及び/又はデータを規格化する。
請求項(抜粋):
光学式スキャナの感度を較正するためのシステムであって、A.公知の光学的出力の入射励起ビーム発生し、試料の方向にこの入射励起ビームを方向付ける光学手段と、B.前記試料の方から方向付けられた光の光学的出力を測定する検出器と、C.前記入射励起ビームを前記試料の方から前記検出器の方へ再度方向付けする拡散反射器とを含むシステム。
IPC (3件):
G01N 21/64 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/47
FI (4件):
G01N 21/64 E ,  G01N 21/64 F ,  G01N 21/27 F ,  G01N 21/47 Z
Fターム (35件):
2G043AA03 ,  2G043BA16 ,  2G043DA02 ,  2G043DA06 ,  2G043EA01 ,  2G043FA02 ,  2G043GA07 ,  2G043GB19 ,  2G043HA01 ,  2G043HA09 ,  2G043JA02 ,  2G043KA09 ,  2G043LA01 ,  2G043LA02 ,  2G043NA05 ,  2G043NA06 ,  2G043NA13 ,  2G043NA14 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059BB12 ,  2G059BB14 ,  2G059CC16 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059EE07 ,  2G059EE11 ,  2G059GG01 ,  2G059GG03 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ25 ,  2G059KK01 ,  2G059MM05 ,  2G059MM09
引用特許:
審査官引用 (9件)
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