特許

J-GLOBAL ID：200903041396166759

ウエハの包装保管方法

発明者： 藤田 育弘
出願人/特許権者： 九州日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-148748
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340643
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】ウエハを外気や外部光等から守り外乱を受けないウエハの包装保管方法を提供する。【解決手段】2枚のウエハ1の表面部2同士を重ね合わせ密着させ、密着させた2枚のウエハ1の全外面を金属箔3で覆い包み、金属箔3で覆い包んだ密着させた2枚のウエハ1をウエハ容器4に収納する。

請求項（抜粋）：

2枚のウエハの表面部同士を重ね合わせ密着させ、前記密着させた2枚のウエハの全外面を遮光性を有する導電性シートで覆い包み、前記導電性シートで覆い包んだ密着させた2枚のウエハをウエハ容器に収納することを特徴とするウエハの包装保管方法。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86

FI (2件)：

H01L 21/68 T ,  B65D 85/38 R

Fターム (14件)：

3E096AA03 ,  3E096BA16 ,  3E096CA12 ,  3E096DA03 ,  3E096DA17 ,  3E096EA06X ,  3E096EA06Y ,  3E096FA05 ,  3E096FA07 ,  5F031CA02 ,  5F031CA11 ,  5F031DA19 ,  5F031FA01 ,  5F031MA33

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-275135
  
• 半導体ウエハケースおよび 半導体ウエハケースを用いたウエハ在庫管理システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-021166   出願人：日本電装株式会社