特許
J-GLOBAL ID：200903041403240579
電場変調スペクトル測定用近接場光学顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 興作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-123716
公開番号（公開出願番号）：特開2002-318186
出願日： 2001年04月23日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：
【要約】【課題】 nmオーダの局所領域において電場変調による光学応答性としてのスペクトルを得、線形及び非線形の物理特性を解析するようにした電場変調スペクトル近接場光学顕微鏡を提供する。【解決手段】 白色光源1より出射された白色光を分光器2を通過させることにより、波長が連続した複数の単色光を得、光ファイバプローブ3を通じてnmオーダに絞り込んだ後、支持台4上に設置された試料Sに照射する。試料Sには光ファイバプローブ3の先端部3Aから局所的に大きな電場が印加されており、前記光の照射によって極局所領域の電場変調スペクトルを得る。そして、この電場変調スペクトルより線形及び非線形の物理特性を解析する。
請求項（抜粋）：
少なくとも光出射側の先端部が導電性を有する光ファイバプローブと、透明導電性の支持台と、前記光ファイバプローブの後方に設けられた白色光源と、分光器とを具え、前記光ファイバプローブの前記光出射側の先端部及び前記支持台の間に所定の電圧を印加して、前記支持台上に配置された試料に前記所定の電場を印加するとともに、前記白色光源から出射された白色光を前記分光器を介して単色化し、前記光ファイバプローブを通じて前記支持台上に配置された前記試料に照射することにより、前記試料の電場変調スペクトルを測定するようにしたことを特徴とする、電場変調スペクトル測定用近接場光学顕微鏡。
引用特許：
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