プローブ開口作製装置、及びそれを用いた近接場光学顕微鏡

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：岩橋祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-166238
公開番号（公開出願番号）：特開2002-055041
出願日： 2000年06月02日
公開日（公表日）： 2002年02月20日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、所望の大きさの開口を容易に作製することのできるプローブ開口作製装置を提供することにある。【解決手段】プローブ先端部のマスクを所望の大きさで開口する装置であって、該プローブに光を入射する光源116と、該プローブ先端部と接触し、該光源116光による該先端部からの透過光量を検出する光検出手段140と、該プローブ先端部と光検出手段140との光軸方向の押付けを行なう押付手段114,130と、予め該プローブ先端部からの透過光の光量値と開口の大きさの検量情報を記憶している記憶手段142と、所望の大きさの開口を得るための光量値を該記憶手段142に記憶されている検量情報より求める算出手段144と、該光検出手段140で検出された光量値が該算出手段144で算出された光量値となるように該押付手段114,130によるプローブ先端部と光検出手段140との光軸方向の押付けを制御する押付制御手段126,128と、を備えたことを特徴とするプローブ開口作製装置139。

請求項（抜粋）：

光透過性を有する材質で構成されたコアと、該コア上に形成され、延性及び遮光性を有する材質で構成されたマスクと、を備えたプローブ先端部のマスクを所望の大きさで開口する装置であって、前記プローブに光を入射する光源と、前記プローブ先端部と接触し、前記光源の光による該先端部からの透過光の光量を検出する光検出手段と、前記プローブ先端部と光検出手段との光軸方向の押付けを行なう押付手段と、あらかじめ前記プローブ先端部からの透過光の光量値と、開口の大きさとの検量情報を記憶している記憶手段と、所望の大きさの開口を得るための光量値を、前記記憶手段に記憶されている検量情報より求める算出手段と、前記光検出手段により検出された光量値が、前記算出手段により算出された光量値となるように、前記押付手段によるプローブ先端部と光検出手段との光軸方向の押付けを制御する押付制御手段と、を備えたことを特徴とするプローブ開口作製装置。

IPC (5件)：

G01N 13/14 , G01B 11/30 , G01N 21/27 , G12B 21/22 , G01N 13/10

FI (6件)：

G01N 13/14 B , G01B 11/30 Z , G01N 21/27 C , G01N 21/27 E , G01N 13/10 D , G12B 1/00 601 H

Fターム (42件)：

2F065AA06 , 2F065AA27 , 2F065AA51 , 2F065DD02 , 2F065FF00 , 2F065FF02 , 2F065GG02 , 2F065GG21 , 2F065HH13 , 2F065HH15 , 2F065JJ01 , 2F065JJ09 , 2F065JJ18 , 2F065LL01 , 2F065LL19 , 2F065LL22 , 2F065LL23 , 2F065LL67 , 2F065NN17 , 2F065PP12 , 2F065PP24 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2G059AA05 , 2G059DD12 , 2G059DD13 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE12 , 2G059FF03 , 2G059GG01 , 2G059HH01 , 2G059JJ02 , 2G059JJ11 , 2G059JJ14 , 2G059JJ17 , 2G059JJ22 , 2G059JJ30 , 2G059KK04 , 2G059MM05 , 2G059MM09 , 2G059MM10

引用特許：

審査官引用 (8件)

光プローブおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-087050 出願人：三菱電機株式会社
特開平4-034824
微小開口評価装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-298709 出願人：富士写真フイルム株式会社

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