磁気抵抗効果ヘッドの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本恵一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-165950
公開番号（公開出願番号）：特開平7-006330
出願日： 1993年06月14日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【目的】反強磁性体膜であるFeMnの洗浄工程における溶解、腐食の発生を防止できるMRヘッド製造方法を提供する。【構成】 MR層13とこのMR層13上に積層された反強磁性体層16とを有するMRヘッドの製造における洗浄工程で弱アルカリ性の洗浄水を使用する。

請求項（抜粋）：

磁気抵抗効果層と該磁気抵抗効果層上に積層された反強磁性体層とを有する磁気抵抗効果ヘッドを製造する方法であって、洗浄工程では弱アルカリ性の洗浄水を用いて洗浄を行うことを特徴とする磁気抵抗効果ヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

G11B 5/39 , H01L 43/08 , H01F 41/14

引用特許：

審査官引用 (4件)

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