特許

J-GLOBAL ID：200903041447402630

基板保持具および基板処理装置

発明者： 酒井 滝吉
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-086818
公開番号（公開出願番号）：特開2007-036189
出願日： 2006年03月28日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：

【課題】 複数枚の基板を基板保持具に保持して処理槽内の処理液中に浸漬させて処理する場合において、高濃度のフッ酸、リン酸あるいは硫酸を処理液として使用するような場合であっても、構成部材が腐食される心配の無い基板保持具を提供する。【解決手段】 処理液が貯留される処理槽10の内部と外部との間で移動可能に支持されSiCで形成された移動部材26と、移動部材26に固着され基板Wの配列方向に沿って水平方向に配置された複数の基板保持枠28、30と、基板保持枠28、30に設けられ基板Wの下端部に接触して基板Wを保持する保持部材34a、34b、36a、36bとを備えて、基板保持具12を構成した。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

複数枚の基板を起立姿勢で配列させて保持する基板保持具において、 処理液が貯留されている処理槽の内部と前記処理槽の上方位置との間で移動可能であり、SiCで形成された移動部材と、 前記移動部材に固着され、それぞれ基板の配列方向に沿って水平方向に配置された複数の基板保持枠と、 前記基板保持枠に設けられ、基板の下端部に接触して基板を保持する保持部材と、 を備えることを特徴とする基板保持具。

IPC (4件)：

H01L 21/683 ,  C23C 16/42 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/306

FI (6件)：

H01L21/68 N ,  C23C16/42 ,  H01L21/304 642Z ,  H01L21/304 648B ,  H01L21/304 647Z ,  H01L21/306 J

Fターム (12件)：

4K030BA37 ,  4K030CA05 ,  4K030FA10 ,  4K030JA01 ,  5F031CA02 ,  5F031HA73 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031PA30 ,  5F043EE01 ,  5F043EE35 ,  5F043EE36

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 基板処理装置の基板保持具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-131739   出願人：大日本スクリーン製造株式会社