レジスト溶液の調製方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阿形明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-069945
公開番号（公開出願番号）：特開平8-262698
出願日： 1995年03月28日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【構成】アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド基含有化合物及び有機溶剤を混合して成る混合物を、得られるレジスト溶液の波長500nmにおける吸光度が0.05〜0.75の範囲内となるまで、75〜85°Cの温度に加熱するレジスト溶液の調製方法である。【効果】長期間保存しても微粒子などの発生が抑えられ、極めて長期保存安定性に優れ、高い歩留まりが要求される電子部品の製造に好適に用いられるレジスト溶液を容易に調製することができる。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド基含有化合物及び有機溶剤を混合し、次いでこの混合物を、波長500nmにおける吸光度が0.05〜0.75の範囲内になるまで、75〜85°Cの温度に加熱することを特徴とするレジスト溶液の調製方法。

IPC (3件)：

G03F 7/004 , G03F 7/022 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/004 , G03F 7/022 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

感放射線性樹脂組成物の調製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-043016 出願人：住友化学工業株式会社
特開昭63-113451
特開昭64-070746

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