特許
J-GLOBAL ID：200903041471816411
基板搬送装置の監視装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-275206
公開番号（公開出願番号）：特開2003-086658
出願日： 2001年09月11日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：
【要約】【課題】 半導体製造装置で基板搬送室と基板置き棚を備えたロードロック室との間で搬送ロボットにより基板の受渡しを行うとき、ロードロック室における基板置き棚の基板間の隙間に挿入されるフォークと基板の位置関係に関してフォークの位置決めを正確に行う。【解決手段】 半導体製造装置10で、基板置き棚19が設けられたロードロック室19A,19Bと、搬送ロボット11が設けられた基板搬送室12とが備えられ、搬送ロボットはフォーク23を有し、ロードロック室にロードロック室内に存するフォークと基板17の位置関係を監視するカメラ装置30を設ける。カメラ装置で基板置き棚とフォークとの間の基板受渡しを監視し、監視データの基づきフォークがその下側の基板に接触しないように制御する。
請求項（抜粋）：
基板置き棚が設けられたロードロック室と搬送ロボットが設けられた基板搬送室とを備え、前記搬送ロボットは基板支持部を有し、前記ロードロック室に前記ロードロック室内に存する前記基板支持部と前記基板の位置関係を監視するカメラ装置を設け、このカメラ装置で前記基板置き棚と前記搬送ロボットの前記基板支持部との間の基板の受渡しを監視し、監視データの基づいて前記基板支持部が下側基板に接触しないように制御する制御手段を備えたことが特徴とする基板搬送装置の監視装置。
FI (2件)：
H01L 21/68 F
, H01L 21/68 A
5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA05
, 5F031FA07
, 5F031FA15
, 5F031GA03
, 5F031GA30
, 5F031GA44
, 5F031GA47
, 5F031GA49
, 5F031JA04
, 5F031JA07
, 5F031JA14
, 5F031JA32
, 5F031JA40
, 5F031MA04
, 5F031MA11
, 5F031NA05
, 5F031NA07
, 5F031PA02
, 5F031PA10
出願人引用 (2件)
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基板搬送システムの監視装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-115665
出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
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被処理物の移載装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-169891
出願人：東京エレクトロン東北株式会社
審査官引用 (2件)
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基板搬送システムの監視装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-115665
出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
-
被処理物の移載装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-169891
出願人：東京エレクトロン東北株式会社
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