特許

J-GLOBAL ID：200903041474069145

送りねじおよび送りねじの潤滑膜形成方法

発明者： 豊田 泰 ,  林田 一徳 ,  竹林 博明
出願人/特許権者： 光洋精工株式会社
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-237502
公開番号（公開出願番号）：特開平9-137855
出願日： 1996年09月09日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】【課題】送りねじにおいて、発塵の抑制および潤滑性の向上を図り、長寿命を達成できるようにすること。【解決手段】ねじ軸1と、それに螺合されるナット2と、ねじ軸1とナット2との螺合部位に介装される複数の転動体3とを備え、これらの少なくともいずれかの転動、摺動部位に、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜5が形成されている。この固体膜5は、その分子間がウレタン結合となっていて3次元の網状構造になっているので、剥離や欠落の他、摩耗が抑制される。

請求項（抜粋）：

ねじ軸と、それに螺合されるナットと、ねじ軸とナットとの螺合部位に介装される複数の転動体とを備え、これらの少なくともいずれかの転動、摺動部位に、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜が形成されている、ことを特徴とする送りねじ。

IPC (7件)：

F16H 25/24 ,  F16H 25/22 ,  C08G 18/50 NEB ,  C09D175/04 PHR ,  H01L 21/68 ,  C10M107:40 ,  C10N 40:06

FI (5件)：

F16H 25/24 J ,  F16H 25/22 D ,  C08G 18/50 NEB ,  C09D175/04 PHR ,  H01L 21/68 A

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 半導体製造設備用ボールねじ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-104384   出願人：エヌティエヌ株式会社
• 特開昭63-083415
  

審査官引用 (1件)

• 半導体製造設備用ボールねじ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-104384   出願人：エヌティエヌ株式会社