特許
J-GLOBAL ID：200903041498953895
画像露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-183900
公開番号（公開出願番号）：特開2007-003829
出願日： 2005年06月23日
公開日（公表日）： 2007年01月11日
要約：
【課題】 マイクロレンズアレイを透過した光を直接被露光面上に露光する画像露光装置において、精度良く焦点位置を合わせることができる画像露光装置を提供する。【解決手段】 画像露光装置は、空間光変調素子の各画素部からの光をそれぞれ集光するマイクロレンズ55aがアレイ状に配されたマイクロレンズアレイ55を含み前記空間光変調素子により変調された光による像をマイクロレンズ55aによって直接感光材料150上に結像する結像光学系と、を備えている。マイクロレンズアレイ55は、画像露光用のマイクロレンズ55aと焦点位置検出用のマイクロレンズ55bとが一体形成され、光源308Aからのレーザ光Lはマイクロレンズ55bを透過して感光材料150上の結像位置Pに結像される。その像はカメラ308Dによって撮像され、この撮像された画像のピントが合うようにマイクロレンズアレイ55の位置を光軸方向に調整する。【選択図】 図17
請求項（抜粋）：
照射された光を各々変調する多数の画素部が2次元状に配列されてなる空間光変調素子と、
この空間光変調素子に光を照射する光源と、
前記空間光変調素子の各画素部からの光をそれぞれ集光するマイクロレンズがアレイ状に配されてなるマイクロレンズアレイを含み、前記空間光変調素子により変調された光による像を前記マイクロレンズアレイによって直接被露光面上に結像する結像光学系と、
を備えた画像露光装置において、
前記マイクロレンズアレイの近傍に設けられ、前記マイクロレンズと前記被露光面との前記光の光軸方向における位置関係に関する情報を検出する検出手段と、
前記検出手段による検出結果に基づいて、前記被露光面に対する前記マイクロレンズアレイの位置が予め定めた所定範囲内の位置となるように、前記マイクロレンズアレイの位置を前記光軸方向に調整する調整手段と、
を備えたことを特徴とする画像露光装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
2C162AE23
, 2C162AE28
, 2C162AE48
, 2C162AE55
, 2C162AE58
, 2C162AF06
, 2C162FA09
, 2C162FA18
, 2C162FA44
, 2C162FA48
, 2C162FA50
, 2C162FA59
, 2C162FA60
, 2C162FA67
, 2H097BA01
, 2H097EA01
