特許

J-GLOBAL ID：200903041499220441

基板の搬送ロボット

発明者： 佐藤 雅昭 ,  玉造 大悟 ,  藤井 誠一 ,  小川 直樹 ,  谷岡 篤吉 ,  細川 博文 ,  廣田 健二
出願人/特許権者： ローツェ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-198460
公開番号（公開出願番号）：特開2007-019216
出願日： 2005年07月07日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：

【課題】移載室の内容積を小さくすることができる基板の搬送ロボットを提供する。【解決手段】搬送ロボット4aは、同心状に備える2つの駆動源15、16と、各駆動源15,16の側面に突出して備える駆動アーム17,18と、駆動アーム17,18の他端に備える2つの従動アーム19〜22と、2つで1組をなす従動アーム19〜22の先端に備えるハンド23,24と、からなるものである。この搬送ロボット4aは、各駆動源15,16を異方向、若しくは同方向に回動することで各アーム17〜22を介して第一ハンド23、第二ハンド24を進退動作、回動することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を搬送する搬送ロボットにおいて、 ベース板上に回動軸を有する第一駆動源と、第一駆動源の回動軸と同心状に回動軸を有する第二駆動源と、該第一駆動源の側面に突出して備える第一駆動アームと、該第二駆動源の側面に突出して備える第二駆動アームと、該第一駆動アームの他端に同心状で独立して回動可能に備える第一従動アームと第二従動アームと、該第二駆動アームの他端に、同じ水平面内で回動可能に備える第三従動アームと第四従動アームと、第一従動アームと第三従動アームとにより回動可能に備える第一ハンドと、第二従動アームと第四従動アームとにより回動可能に備える第二ハンドと、からなり、第一駆動源と第二駆動源とが異方向、若しくは同方向に回動することで各アームを介して第一ハンド、第二ハンドを進退動作、及び、回動できることを特徴とする基板の搬送ロボット。

IPC (3件)：

H01L 21/677 ,  B25J 9/06 ,  B65G 49/07

FI (3件)：

H01L21/68 A ,  B25J9/06 E ,  B65G49/07 D

Fターム (33件)：

3C007AS05 ,  3C007AS24 ,  3C007AS25 ,  3C007AS31 ,  3C007BS15 ,  3C007BS23 ,  3C007BS26 ,  3C007BT11 ,  3C007CT04 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007HS28 ,  3C007HT16 ,  3C007NS12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA44 ,  5F031GA47 ,  5F031GA50 ,  5F031HA37 ,  5F031LA13 ,  5F031LA14 ,  5F031MA04 ,  5F031NA05 ,  5F031NA10 ,  5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 搬送装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平6-523409   出願人：ブルックスオートメーションインコーポレイテッド
• 移送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-349923   出願人：三星電子株式会社