特許
J-GLOBAL ID:200903052581656861

移送装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 志賀 正武 ,  渡邊 隆
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-349923
公開番号(公開出願番号):特開2004-237436
出願日: 2003年10月08日
公開日(公表日): 2004年08月26日
要約:
【課題】移送テーブルに一定の負荷が印加される時に発生される回転関節のモーメント負荷を既存に比べて相対的に減らすことができる。【解決手段】支持部20と;前記支持部20に支持されて回転する第1駆動軸30a及び第2駆動軸30bと;前記第1駆動軸30a及び第2駆動軸30bにそれぞれ設けられる駆動リンク40a,40bと;前記駆動リンク40a,40bと回転できるように連結される伝達リンク50a,50bと;前記伝達リンク50a,50bと回転関節により連結され、前記駆動リンク40a,40b及び前記伝達リンク50a,50bの相互作用により直線運動する移送テーブル70aと;を含む移送装置において、前記第1駆動軸30a及び第2駆動軸30bが前記移送テーブル70aの移送方向に配置されることを特徴とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
支持部と;前記支持部に支持されて回転する第1駆動軸及び第2駆動軸と;前記第1駆動軸及び第2駆動軸にそれぞれ設けられる駆動リンクと;前記駆動リンクと回転できるように連結される伝達リンクと;前記伝達リンクと回転関節により連結され、前記駆動リンク及び前記伝達リンクの相互作用により直線運動する移送テーブルと;を含む移送装置において、 前記第1駆動軸及び第2駆動軸が前記移送テーブルの移送方向に配置されることを特徴とする移送装置。
IPC (5件):
B25J9/06 ,  B25J17/00 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07 ,  H01L21/68
FI (5件):
B25J9/06 D ,  B25J17/00 H ,  B65G49/06 Z ,  B65G49/07 D ,  H01L21/68 A
Fターム (26件):
3C007AS01 ,  3C007AS24 ,  3C007AS31 ,  3C007BS15 ,  3C007BS23 ,  3C007BS26 ,  3C007BT11 ,  3C007CT04 ,  3C007CT05 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007HS27 ,  3C007HT11 ,  3C007HT16 ,  3C007HT19 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA02 ,  5F031GA44 ,  5F031GA50 ,  5F031LA14 ,  5F031NA05 ,  5F031PA13
引用特許:
出願人引用 (3件)
  • 米国特許第6,189,404号明細書
  • 米国特許第5,180,276号明細書
  • 米国特許第5,647,724号明細書
審査官引用 (5件)
  • 特開昭62-251091
  • 特開昭62-251091
  • 搬送装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-172744   出願人:株式会社芝浦製作所
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