特許
J-GLOBAL ID：200903041515114290
吐出ヘッド製造方法及び吐出ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-080167
公開番号（公開出願番号）：特開2005-306021
出願日： 2005年03月18日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：
【課題】液吐出ヘッドの製造時に発生する反りを防止すると共に精度のよい微細加工を実現する吐出ヘッド製造方法及び吐出ヘッドを提供する。【解決手段】圧電体が形成されるベース基板200は熱膨張係数が圧電体58と近い材料が適用される。ベース基板200に個別電極57を形成し、AD法によって圧電体58を形成した後に圧電体58を焼結させるための熱処理を施すので、常温化する際に熱膨張係数の違いによって発生するベース基板200の反りを低減できる。また、圧電体58を焼結させた後の振動板56の接合或いは成膜、圧力室52の形成、ノズルプレート224の工程では熱処理が行われないので熱膨張による反りを低減可能である。圧力室52の形成にAD法を適用すると、圧力室52の加工精度を上げることができると共にエッチングなど他の加工方法では困難な寸法精度が可能になり、様々な圧力室形状を実現できる。【選択図】 図14
請求項（抜粋）：
被吐出媒体上に吐出させる液滴に吐出力を与える圧電体を有する吐出ヘッドの製造方法であって、
ベース基板の少なくとも何れか1つの面に薄膜形成技術を用いて圧電体膜を形成させる圧電体膜形成工程と、
前記圧電体膜形成工程によって形成された前記圧電体膜形成時或いは前記圧電体膜形成後のうち少なくとも何れか一方で前記圧電体膜に熱処理を施して焼結させる熱処理工程と、
前記圧電体膜形成工程及び前記熱処理工程を経て前記圧電体が形成された後に前記圧電体の前記ベース基板と反対側の面に振動板を接合或いは成膜により形成する振動板形成工程と、
前記振動板の前記圧電体と反対側の面に圧力室壁を形成させる圧力室形成工程と、
前記圧力室に収容される液を吐出させる吐出孔が形成された吐出孔板を前記圧力室壁に接合させる吐出孔板接合工程と、
前記ベース基板の少なくとも一部を除去するベース基板除去工程と、
を含み、
前記ベース基板の熱膨張係数a及び前記圧電体の熱膨張係数bの割合b/aが所定の範囲内であることを特徴とする吐出ヘッド製造方法。
IPC (3件)：
B41J2/16
, B41J2/045
, B41J2/055
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
2C057AF93
, 2C057AG15
, 2C057AG42
, 2C057AG44
, 2C057AN05
, 2C057AP02
, 2C057AP25
, 2C057AP34
, 2C057AP51
, 2C057AP58
, 2C057BA03
, 2C057BA14
