特許
J-GLOBAL ID：200903041537648060
液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法および液滴吐出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上柳 雅誉
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-292185
公開番号（公開出願番号）：特開2008-105334
出願日： 2006年10月27日
公開日（公表日）： 2008年05月08日
要約：
【課題】アルカリ性の液状材料に対する耐性に優れる液滴吐出ヘッド、当該液滴吐出ヘッドの製造方法および当該液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を提供すること。【解決手段】液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズル孔111を備えたノズル板11と、アクチュエーターによって振動される振動板13と、ノズル板11と振動板13との間に設置され、液状材料を収容する収容室を画成する隔壁122を備え、シリコン材料で構成されたキャビティ板12とを備える液滴吐出ヘッドであって、隔壁122の少なくとも液状材料が接触する面にプラズマ重合膜17が形成されている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
液滴を吐出するノズル孔を備えたノズル板と、
アクチュエーターによって振動される振動板と、
前記ノズル板と前記振動板との間に配置され、液状材料を収容する収容室を画成する隔壁を備えたキャビティ板とを有する液滴吐出ヘッドであって、
前記隔壁の少なくとも前記液状材料が接触する面にプラズマ重合膜が形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
2C057AF70
, 2C057AF93
, 2C057AG29
, 2C057AP56
, 2C057AP58
, 2C057AP60
, 2C057BA04
, 2C057BA14
