磁気浮上型ステージ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永井冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-166343
公開番号（公開出願番号）：特開平9-017847
出願日： 1995年06月30日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【目的】可動ステージの高速駆動および高精度な位置決めを可能とするとともに、クリーン度を低下させず、真空中でも使用可能な磁気浮上型ステージを提供する。【構成】移動ステージ4および固定ステージ1のいずれか一に設けた第1の磁石群5a、5b、5c、5d、5e、5fと他に設けた第1の電磁石群2a、2b、2c、2d、2e、2fとの間の反発力あるいは吸引力により移動ステージ4のZ方向の移動量、およびα方向、β方向の回転量を制御し、一に設けた第2の磁石群5b、5c、5eと他に設けた第2の電磁石群2b、2c、2eとの間に作られた磁束中に流す横断電流I5、I6により移動ステージ4のX方向、Y方向の移動量およびθ方向の回転量を制御する。

請求項（抜粋）：

直交座標系の3軸をX、Y、Zとし、各軸回りの回転角をα、β、θで表すとき、固定ステージと、前記固定ステージに沿ってXY平面内の任意の位置に駆動される移動ステージとを有する磁気浮上型ステージにおいて、前記移動ステージおよび前記固定ステージのいずれか一方のステージに設けた第1の磁石群と他方のステージに設けた第1の電磁石群との間の反発力あるいは吸引力により前記移動ステージにZ方向の移動力、およびα方向、β方向の回転力を付与し、前記一方のステージに設けた第2の磁石群と前記他方のステージに設けた第2の電磁石群との間に作られた磁束中で前記他方のステージに設けた電線に流す横断電流により前記移動ステージにX方向、Y方向の移動力およびθ方向の回転力を付与することを特徴とする磁気浮上型ステージ。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B23Q 1/25 , B65G 54/02 , G05D 3/00 , H01L 21/027

FI (5件)：

H01L 21/68 K , B65G 54/02 , G05D 3/00 A , H01L 21/30 515 G , B23Q 1/14 A

引用特許：

出願人引用 (7件)

精密1段6自由度ステージ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-218367 出願人：松下電器産業株式会社
位置決め装置及び位置決め方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-243099 出願人：旭硝子株式会社
移動案内装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-327179 出願人：松下電器産業株式会社

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審査官引用 (7件)

精密1段6自由度ステージ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-218367 出願人：松下電器産業株式会社
位置決め装置及び位置決め方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-243099 出願人：旭硝子株式会社
移動案内装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-327179 出願人：松下電器産業株式会社

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