特許
J-GLOBAL ID：200903041585226630

自己走査型発光装置のマスク設計方法

発明者：
楠田 幸久

楠田 幸久 について


出願人/特許権者：
日本板硝子株式会社

日本板硝子株式会社 について


代理人 (1件)： 岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-251260
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077421
出願日： 1999年09月06日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：
【要約】【課題】 自己走査型発光装置において、遮光層を兼ねた金属配線を作製する際の最適なマスク設計方法を提供する。【解決手段】 Al配線26を形成するマスク42が、Au電極16と、スイッチ素子の配列と直交する方向に重なる幅をW1とした場合、W1>(S+dS)+aただし、SはAl配線26の側面のエッチング量、dSはエッチング量のばらつき、aはマスクのアライメントずれである、を満たすように、W1を選ぶようにする。
請求項（抜粋）：
しきい電圧もしくはしきい電流が外部から制御可能な制御電極を有する発光サイリスタよりなる3端子スイッチ素子多数個を配列した3端子スイッチ素子アレイの各スイッチ素子の第1の制御電極を互いに第1の電気的手段にて接続すると共に、各スイッチの素子の第1の制御電極に電源ラインを第2の電気的手段を用いて接続し、各スイッチ素子の残りの2端子の一方に第1の金属配線を接続して形成した自己走査型スイッチ素子アレイと、しきい電圧もしくはしきい電流が外部から制御可能な第2の制御電極を有する発光サイリスタよりなる3端子発光素子多数個を配列した発光素子アレイとからなり、前記発光素子アレイの第1の各制御電極と前記スイッチ素子の制御電極とを第2の金属配線で接続し、各発光素子の残りの2端子の一方に発光のための電流を印加する書き込み信号ラインを設けた自己走査型発光装置において、前記第1および第2の金属配線をエッチングにより形成する際のマスク設計方法であって、前記第1の金属配線を形成するマスクが、前記第1の制御電極と、前記スイッチ素子の配列と直交する方向に重なる幅をW1とした場合、W1>(S+dS)+aただし、Sは前記第1の金属配線の側面のエッチング量、dSはエッチング量のばらつき、aはマスクのアライメントずれである、を満たすように、W1を選ぶことを特徴とするマスク設計方法。
IPC (3件)：
H01L 33/00 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 27/15
FI (3件)：
H01L 33/00 E ,  H01L 27/15 B ,  H01L 21/88 Z
Fターム (15件)：
5F033HH08 ,  5F033UU04 ,  5F033XX32 ,  5F041AA42 ,  5F041BB22 ,  5F041BB25 ,  5F041BB27 ,  5F041CA07 ,  5F041CA74 ,  5F041CA77 ,  5F041CA83 ,  5F041CA93 ,  5F041CA98 ,  5F041EE24 ,  5F041FF13
引用特許：
審査官引用 (6件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)
  • 発明協会公開技報, 19960617, 96-7931

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