特許
J-GLOBAL ID:200903041612050213

塗布ヘッドへの送液開始方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 田中 政浩
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-071294
公開番号(公開出願番号):特開2000-262956
出願日: 1999年03月17日
公開日(公表日): 2000年09月26日
要約:
【要約】【課題】 塗布ヘッドに塗布液などを送る際に送液系内に残留している空気を迅速かつ充分に排除する送液方法及び装置を提供する。【解決手段】 上記課題は、塗布ヘッドへ塗布液の送液を開始する際に、該塗布液を塗布ヘッドへ供給する送液系内を減圧してから液封液で満たし、その後該塗布液で該液封液を押出し置換することを特徴とした送液方法、とその装置によって解決される。
請求項(抜粋):
塗布ヘッドへ塗布液の送液を開始する際に、該塗布液を塗布ヘッドへ供給する送液系内を減圧してから液封液で満たし、その後該塗布液で該液封液を押出し置換することを特徴とした送液方法
IPC (2件):
B05C 11/10 ,  B05D 3/00
FI (2件):
B05C 11/10 ,  B05D 3/00 B
Fターム (8件):
4D075AC14 ,  4D075AC84 ,  4D075AC95 ,  4D075BB56X ,  4D075CA48 ,  4D075EA05 ,  4F042CA07 ,  4F042CB03
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 特開昭49-065824
  • 特開昭49-065824
  • 特開平2-265639
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