圧力差測定方法及び変位変換装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-256198
公開番号（公開出願番号）：特開平7-113709
出願日： 1993年10月14日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：

【要約】【目的】両面に圧力差を受け変位するダイヤフラム1と、固定電極3,4間の静電容量C1,C2を検出して圧力差を求め、V/I変換器209を介しプロセス統一信号として出力する変位変換器にて、静電容量C1,C2内のダイアフラム変位と無関係の浮遊容量を補償コンデンサ等のハードを用いて補償する厄介な調整を省き、調整(較正)を測定精度を損なわずに簡単化する。【構成】予め較正モードにてマイコン205は複数の既知圧力差のもとで、時定数測定器202,A/D変換器203,タイマカウンタ206を介し静電容量C1,C2を測定し、このデータから浮遊容量の補正や、圧力検出に必要な定数を求めてメモリ204に記憶する。そして測定モードでは、測定した静電容量C1,C2とメモリ204に記憶した定数から被測定圧力差を演算にて求め、D/A変換器207,V/I変換器209を介し変換器出力とする。

請求項（抜粋）：

圧力差によるダイヤフラムの微小変位を、ダイヤフラムとその両側に対向して設けられた2つの固定電極との間の一対のキャパシタの差動的な静電容量変化として検出する圧力差測定方法であって、この一対のキャパシタの静電容量C1,C2を測定する静電容量測定手段を設け、圧力差Pのもとで前記静電容量測定手段により測定された、前記一対のキャパシタの静電容量C1,C2の値としてのC1(P),C2(P)と、前記一対の静電容量C1,C2内の浮遊容量に基づく定数α,βとからなる下記(1)式の関数値f(P)が、圧力差P=0の点の前記関数値f(P)に相当する定数f(0)と、圧力差Pの正,負の夫々の領域に対応する比例定数KP とを含む下記(2)式に従って、圧力差Pに対し線形条件を満たすものとして、予め較正時において、圧力差Pの正の領域又は(及び)負の領域におけるそれぞれ複数の既知の圧力差Pの測定点での静電容量測定値C1(P),C2(P)を用いて、(1),(2)式からその定数α,β,f(0),KP を算出し、圧力差測定時において、被測定圧力差Pのもとで前記静電容量測定手段により測定された静電容量値C1(P),C2(P)と、前記較正時に算出された定数とから(1),(2)式を用いて被測定圧力差Pを算出測定することを特徴とする圧力差測定方法。

IPC (3件)：

G01L 13/06 , G01D 5/24 , G01L 9/12

引用特許：

審査官引用 (1件)

変位変換器
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-227547 出願人：富士電機株式会社

前のページに戻る