特許

J-GLOBAL ID：200903041619991510

表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料及びその製造方法

発明者： 丸山 昭 ,  西川 雄司
出願人/特許権者： コニカ株式会社
代理人 (1件)： 坂口 信昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-070579
公開番号（公開出願番号）：特開2002-267602
出願日： 2001年03月13日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：

【要約】【課題】複数回の使用に耐え、且つ超微量液状物を超高感度に測定できる表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料及びその製造方法を提供する。【解決手段】赤外線透過用基板に島状金属酸化物皮膜を製膜後、同一真空槽内で連続製膜により金属元素の島状金属膜を製膜することを特徴とする表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料の製造方法である。

請求項（抜粋）：

赤外線透過用基板に島状金属酸化物皮膜を製膜後、同一真空槽内で連続製膜により金属元素の島状金属膜を製膜することを特徴とする表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料の製造方法。

IPC (5件)：

G01N 21/35 ,  C23C 14/24 ,  C23C 30/00 ,  G01N 1/28 ,  G01N 21/27

FI (5件)：

G01N 21/35 Z ,  C23C 14/24 S ,  C23C 30/00 Z ,  G01N 21/27 C ,  G01N 1/28 U

Fターム (35件)：

2G052AD06 ,  2G052AD46 ,  2G052DA01 ,  2G052DA05 ,  2G052GA11 ,  2G059AA01 ,  2G059BB04 ,  2G059EE01 ,  2G059HH01 ,  2G059PP10 ,  4K029AA04 ,  4K029AA06 ,  4K029BA01 ,  4K029BA04 ,  4K029BA05 ,  4K029BA08 ,  4K029BA13 ,  4K029BA43 ,  4K029BA45 ,  4K029BA48 ,  4K029BB03 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029CA02 ,  4K029DB03 ,  4K029DB05 ,  4K044AA11 ,  4K044AB02 ,  4K044BA08 ,  4K044BA12 ,  4K044BB03 ,  4K044BB08 ,  4K044BC14 ,  4K044CA13

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-261846
  
• 銀系の薄膜構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-244849   出願人：鐘淵化学工業株式会社
• 特表平4-506999