特許

J-GLOBAL ID：200903041700273842

複数の探針を位置決めして配置した探針組立体および位置決め基板

発明者： 春日部 進 ,  原田 昇一郎 ,  有賀 昭彦
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-007671
公開番号（公開出願番号）：特開平8-201427
出願日： 1995年01月20日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】実使用状態で高精度な状態で使用することができ、かつ、位置決め基板の強度を向上させることができて、電極に接続用プローブの位置決めを低コストで実現できる探針組立体を提供する。【構成】 探針10と、探針を位置決めするための位置決め基板11(12)とを備える。位置決め基板11,12は、一方の面から他方の面に関し、一方の面の開口径が他方の面の開口径より小さいスルーホール22が、それぞれ位置を対応させて設けてある第1の基板11a(12a)および第2の基板11b(12b)を有する。第1の基板11a(12a)および第2の基板11b(12b)は、開口径が大きい開口が存在する面が対向する向きに配置され、かつ、対応するスルーホール22の位置を合わせて、互いに固着される。

請求項（抜粋）：

測定対象物の電極と接続するための探針を、位置決めするための位置決め基板において、一方の面から他方の面に関し、一方の面の開口径が他方の面の開口径より小さいスルーホールが、それぞれ位置を対応させて設けてある第1の基板および第2の基板を有し、第1の基板および第2の基板は、開口径が大きい開口が存在する面が対向する向きに配置され、かつ、対応するスルーホールの位置を合わせて、互いに固着されていることを特徴とする位置決め基板。

IPC (2件)：

G01R 1/073 ,  G01R 31/28

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 電極の接続装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-108108   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平1-287484
  
• 特開平4-112549
  
• 特開昭63-293934