特許

J-GLOBAL ID：200903041703759134

受光装置

発明者： 赤川 圭一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-277412
公開番号（公開出願番号）：特開2005-045010
出願日： 2003年07月22日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：

【課題】 干渉性の高いコヒーレント光を用いて計測を行った場合においても、干渉縞の発生が抑制され、精度の高い計測を行うことができる受光装置を提供する。 【解決手段】 上面に開口1aを有するパッケージ1と、このパッケージ1内に固定される受光素子2と、パッケージ1の上面に固定され、開口1aを閉じる封止ガラス3とを備えている受光装置において、パッケージ1と封止ガラス3との間に形成される密閉空間に、封止ガラス3の屈折率とほぼ同じ屈折率を有するシリコンオイル等の屈折率整合液7を充填した。 【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

上面に開口を有する容器と、この容器内に固定される受光素子と、前記容器の上面に固定され、前記開口を閉じる透光板とを備えている受光装置において、 前記容器と前記透光板との間に形成される密閉空間に、前記透光板の屈折率とほぼ同じ屈折率を有する液体が充填されていることを特徴とする受光装置。

IPC (4件)：

H01L31/02 ,  H01L23/02 ,  H01L23/22 ,  H01L27/14

FI (4件)：

H01L31/02 B ,  H01L23/02 F ,  H01L23/22 ,  H01L27/14 D

Fターム (12件)：

4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA09 ,  4M118HA02 ,  4M118HA09 ,  4M118HA14 ,  4M118HA30 ,  5F088AA01 ,  5F088BA03 ,  5F088JA03 ,  5F088JA11 ,  5F088JA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 光電変換装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-215697   出願人：株式会社ニコン