特許
J-GLOBAL ID：200903041729585037
極端紫外光源装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (3件)：
宇都宮 正明
, 渡部 温
, 柳瀬 睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-028336
公開番号（公開出願番号）：特開2006-216801
出願日： 2005年02月04日
公開日（公表日）： 2006年08月17日
要約：
【課題】 LPP型極端紫外光源装置において、振動子に印加される電圧の周波数によらず均一なドロップレットターゲットを形成する。 【解決手段】 極端紫外光の生成が行われるチャンバと、該チャンバ内にターゲット物質を噴射する噴射ノズル104と、2つの端子を備え、該2つの端子にケーブルを介して電圧を印加されることにより振動して、噴射ノズルに振動を与える振動子105と、該振動子の2つの端子間に印加するための電圧を生成する振動子用電源110と、振動子の2つの端子間の電圧をモニタすると共に、モニタされた電圧の振幅が所定の範囲内に入るように、電圧生成手段をフィードバック制御する制御部120と、噴射ノズルから噴射されたターゲット物質を照射するためのレーザ光を発生するレーザ光源とを含む。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
コンティニュアス・ジェット法により形成されるドロップレットをターゲットとして、該ターゲットにレーザ光を照射することにより極端紫外光を生成する光源装置であって、
極端紫外光の生成が行われるチャンバと、
前記チャンバ内にターゲット物質を噴射する噴射ノズルと、
2つの端子を備え、前記2つの端子にケーブルを介して電圧を印加されることにより振動して、前記噴射ノズルに振動を与える振動子と、
前記振動子の2つの端子間に印加するための電圧を生成する電圧生成手段と、
前記振動子の2つの端子間の電圧をモニタすると共に、モニタされた電圧の振幅が所定の範囲内に入るように、前記電圧生成手段をフィードバック制御する制御手段と、
前記噴射ノズルから噴射されたターゲット物質を照射するためのレーザ光を発生するレーザ光源と、
を具備する極端紫外光源装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G21K 5/02
, G21K 5/08
, H05G 2/00
H01L21/30 531S
, G21K5/02 X
, G21K5/08 X
, H05G1/00 K
4C092AA06
, 4C092AA15
, 4C092AB19
, 4C092AC09
, 4C092BD18
, 5F046GC03
