特許

J-GLOBAL ID：200903041735859440

液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法

発明者： 瀧本 雅文 ,  稲葉 正樹 ,  後藤 顕 ,  古川 雅朗 ,  長谷川 利則 ,  伊東 美紀 ,  斎藤 昭男
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-256101
公開番号（公開出願番号）：特開平11-078032
出願日： 1997年09月04日
公開日（公表日）： 1999年03月23日
要約：

【要約】【課題】 液体噴射記録ヘッドの天板に液流路や吐出口等をレーザ加工する際に発生して付着するデブリーを、天板の構成部材や撥水層に損傷を与えることなく除去することができる液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】 液体噴射記録ヘッドを構成する天板50にレーザ光を照射して液流路や吐出口を加工形成する際に液流路壁等に付着堆積したデブリー16に対して、デブリー16には吸収されるが天板50を構成する樹脂には吸収されないYAGレーザの2倍高調波(波長532nm)をレーザ発振器11から発振し、レンズ12、13およびマスク15のスリット15aを介して所望のビーム形状に整形し、さらにレンズ14により天板50のデブリー16が付着している液流路壁等の領域に集光させてデブリー16を照射し、天板を構成する樹脂に影響を与えることなく、デブリーのみを選択的に除去する。

請求項（抜粋）：

液体を吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子を形成した素子基板と、該素子基板と接合することにより前記吐出エネルギー発生素子の配設部位に対応して液流路を形成する天板部材と、前記液流路に連通して液体を吐出するための吐出口を形成する吐出口形成部材とを備えた液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記天板部材と前記吐出口形成部材とを一体に構成した天板にレーザ光を照射して液流路および吐出口を形成する工程と、該液流路および吐出口の形成工程時に発生して付着した付着物には吸収されるが前記天板には吸収されないレーザ光を前記付着物に照射することにより前記付着物を除去する工程とを備えたことを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。

IPC (6件)：

B41J 2/16 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/00 330 ,  B23K 26/04 ,  B23K 26/16 ,  H01S 3/00

FI (7件)：

B41J 3/04 103 H ,  B23K 26/00 G ,  B23K 26/00 D ,  B23K 26/00 330 ,  B23K 26/04 C ,  B23K 26/16 ,  H01S 3/00 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法、レーザ加工装置ならびにインクジェット記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-041865   出願人：キヤノン株式会社
• インクジエツト記録ヘツドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-306153   出願人：キヤノン株式会社
• パターニング方法およびこれを用いた光学部品の製造方法ならびに前記パターニング方法を用いた液体噴射記録ヘッドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-077202   出願人：キヤノン株式会社