特許
J-GLOBAL ID：200903041778846555
パターン形成方法および感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鍬田 充生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-165285
公開番号（公開出願番号）：特開2000-029227
出願日： 1998年06月12日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：
【要約】【課題】 感光性樹脂の種類に拘らず、水性現像液(特に水)で現像し、解像度に優れるパターンを形成する。【解決手段】 露光により感光層の表面を所定のパターンに難溶化処理して、難溶化又は耐水化パターンを形成し、前記感光層に対して水性現像剤を感光層に対して垂直方向に高圧(75〜500kgf/cm2 程度)で噴出させて現像し、解像度が高く高アスペクト比のパターンを形成する。感光層は、ネガ型感光性ポリマーと微粒子(無機微粒子など)との単一層であってもよく、感光性ポリマーで構成された感光性表面層と、噴出する水性現像剤によりエッチング可能であり、かつ非感光性の成膜性有機成分と微粒子とを含む下層とで構成された複合層であってもよい。微粒子の平均粒子径は1nm〜10μm程度である。高圧で現像した後、焼成すると、無機パターンを形成できる。前記感光層は、密着層を介して基板に形成してもよい。
請求項（抜粋）：
露光により感光層の表面を所定のパターンに難溶化処理し、前記感光層に対して水性現像剤を高圧で噴出させて現像するパターン形成方法。
IPC (4件)：
G03F 7/30 501
, G03F 7/004 501
, G03F 7/038
, G03F 7/039
G03F 7/30 501
, G03F 7/004 501
, G03F 7/038
, G03F 7/039
2H025AA00
, 2H025AA02
, 2H025AB00
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025BC42
, 2H025BC51
, 2H025CC08
, 2H025DA35
, 2H025FA17
, 2H025FA39
, 2H096AA00
, 2H096BA05
, 2H096BA06
, 2H096BA09
, 2H096BA20
, 2H096CA05
, 2H096GA08
, 2H096HA30
, 2H096JA04
