エアベアリングシリンダ及び半導体製造装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-091764
公開番号（公開出願番号）：特開平11-287211
出願日： 1998年04月03日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：

【要約】【課題】制御精度に優れるとともに、全体の長大化をある程度防止することができるエアベアリングシリンダを提供すること。【解決手段】このシリンダC1 は、ロッド挿通孔3を有するシリンダブロック2と、そこに挿通されるロッド4と、加圧エアの噴出によりロッド4を非接触的に支承する軸受け部材15,16とを備える。ロッド4に第1及び第2の圧力作用部P1 ,P2 を形成する。第1の圧力作用部P1 は、ロッド4の自重分を解消するための推力をもたらす。第2の圧力作用部P2 は、ロッド4を駆動制御するための推力をもたらす。ロッド挿通孔3の内壁面とロッド4の外周面との間に、互いに独立した2種の圧力作用室35,36を区画する。第1の圧力作用室35に第1の圧力作用部P1 を配置し、第1のポート25を介してそこに制御エアを供給可能とする。第2の圧力作用室36に第2の圧力作用部P2 を配置し、第2のポート26を介してそこに制御エアを供給可能とする。

請求項（抜粋）：

ロッド挿通孔を有するシリンダブロックと、前記ロッド挿通孔に自身の長手方向に沿って駆動可能に挿通されるロッドと、前記ロッド挿通孔の内壁面に設けられかつ前記ロッドに対して加圧エアを噴出することで前記ロッドを非接触的に支承する軸受け部材とを備えるエアベアリングシリンダにおいて、少なくとも前記ロッドの自重分を解消するための推力をもたらす第1の圧力作用部と、同ロッドを駆動制御するための推力をもたらす第2の圧力作用部とを前記ロッドに形成するとともに、前記ロッド挿通孔の内壁面と前記ロッドの外周面との間にできる互いに独立した2種の圧力作用室のうち、第1の圧力作用室に前記第1の圧力作用部を配置しかつ第1のポートを介してそこに制御エアを供給可能とし、第2の圧力作用室に前記第2の圧力作用部を配置しかつ第2のポートを介してそこに制御エアを供給可能としたことを特徴とするエアベアリングシリンダ。

IPC (4件)：

F15B 15/14 380 , B23Q 3/08 , H01L 21/603 , H05K 13/04

FI (4件)：

F15B 15/14 380 C , B23Q 3/08 A , H01L 21/603 C , H05K 13/04 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭53-022963
エアーシリンダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-077858 出願人：株式会社パボット技研
真空制御装置付シリンダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-226155 出願人：エスエムシー株式会社

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