特許
J-GLOBAL ID:200903041798286556
低摩擦性炭素膜及びこれを用いた摺動部材
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
的場 基憲
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-272741
公開番号(公開出願番号):特開2000-103611
出願日: 1998年09月28日
公開日(公表日): 2000年04月11日
要約:
【要約】【課題】 潤滑下及び無潤滑下に拘わらず、低い摩擦係数を実現し得る非晶質系の炭素膜及びこれを用いた摺動部材を提供すること。【解決手段】 非晶質構造を主体とする炭素膜を成膜した後、150〜500°Cで10分間以上熱処理して得られる低摩擦性炭素膜である。熱処理は、高周波焼き入れ用コイルやレーザー光で行ってもよい。ラマン分光分析を行って得られるラマンスペクトルにおいて、ラマンシフトで1350ppm付近に明確なピークを持つ。上述の低摩擦性炭素膜を、鋼材又は硬質セラミックスを含有する基材に被覆して成る摺動部材である。
請求項(抜粋):
非晶質構造を主体とする炭素膜を成膜した後、150〜500°Cで10分間以上熱処理して得られることを特徴とする低摩擦性炭素膜。
IPC (5件):
C01B 31/02 101
, B23P 9/00
, C23C 14/06
, C23C 16/26
, C23C 26/00
FI (5件):
C01B 31/02 101 Z
, B23P 9/00
, C23C 14/06 F
, C23C 16/26 Z
, C23C 26/00 M
Fターム (33件):
4G046CA02
, 4G046CB03
, 4G046CB08
, 4G046CC03
, 4G046CC06
, 4G046HB07
, 4K029AA02
, 4K029AA04
, 4K029AA07
, 4K029AA08
, 4K029AA24
, 4K029BA34
, 4K029BC02
, 4K029BD04
, 4K029CA03
, 4K029CA12
, 4K030AA09
, 4K030BA28
, 4K030BB03
, 4K030BB05
, 4K030CA02
, 4K030CA05
, 4K030FA07
, 4K030FA12
, 4K030LA23
, 4K044AA02
, 4K044AA13
, 4K044BA18
, 4K044BB17
, 4K044BC01
, 4K044CA13
, 4K044CA14
, 4K044CA62
引用特許:
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