走査型露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-312730
公開番号（公開出願番号）：特開平11-135411
出願日： 1997年10月29日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】露光走査速度が変化しても無駄な動作時間を生じさせず、スル-プットのよい走査型露光装置を提供すること。【解決手段】スリット状の露光エリアに対し被露光物体を走査しながら露光を行う走査型露光装置において、スリット状露光エリアを挟んで走査方向に対し対向する位置に被露光物体の面位置計測を行う面位置検出装置を有するとともに、該面位置検出装置の計測点の位置が露光走査方向に可変であることをことを特徴とする走査型露光装置。

請求項（抜粋）：

スリット状の露光エリアに対し被露光物体を走査しながら露光を行う走査型露光装置において、前記露光装置は前記スリット状露光エリアを挟んで走査方向に対し対向する位置に前記被露光物体の面位置計測を行う面位置検出装置を有するとともに、前記面位置検出装置の計測点の位置が露光走査方向に可変であることを特徴とする走査型露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521 , G03F 9/00

FI (5件)：

H01L 21/30 518 , G03F 7/20 521 , G03F 9/00 H , H01L 21/30 525 E , H01L 21/30 526 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

面位置設定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-228707 出願人：株式会社ニコン
特開平4-128845
投影露光装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-141323 出願人：株式会社ニコン

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審査官引用 (4件)

面位置設定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-228707 出願人：株式会社ニコン
特開平4-128845
投影露光装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-141323 出願人：株式会社ニコン

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