特許

J-GLOBAL ID：200903041854546876

ポジ型の感光性液組成物

発明者： 斉藤 豊 ,  山田 達也
出願人/特許権者： ナガセ電子化学株式会社
代理人 (1件)： 塩出 真一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-215956
公開番号（公開出願番号）：特開平6-051506
出願日： 1991年08月01日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：

【要約】【構成】 アルカリ可溶性の高分子量結合体、及び感光剤を、エトキシプロピオン酸エチルエステル/プロピレングリコールメチルエーテルアセテートの混合重量比が80/20〜60/40の範囲内の混合溶剤に溶解させてなる、集積回路作製に好適なポジ型の感光性液組成物。【効果】 毒性がきわめて弱く、環境を汚染するおそれのないポジ型の感光性液組成物が得られる。また、混合溶剤は高分子量結合体及び感光剤の溶解性がきわめて良好で、レジストを作製した際、保存安定性がきわめて優れている。

請求項（抜粋）：

水中で不溶性であり、かつアルカリ水溶液中で可溶性である少なくとも1つの高分子量結合体、及び感光剤を、アルコキシプロピオン酸エステル系の溶剤Aとグリコールエステル系の溶剤Bとを、ある特定の比率で混合した溶剤に溶解させてなることを特徴とするポジ型の感光性液組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-123444
  
• フオトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-170199   出願人：三菱化成株式会社