磁気記録媒体とその製造方法および装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木正次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-165299
公開番号（公開出願番号）：特開平5-334648
出願日： 1992年06月01日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：

【要約】【目的】高保磁力Hcとした磁気記録媒体と、この磁気記録媒体の製造に適した方法および装置を提供する。【構成】磁気記録媒体は、基板上のCoCrTa層がCr層を挟んで複数層としてある。製造装置は、スパッタリング室にCoCrTaターゲットとCrターゲットを設置すると共に、基板ホルダー上の基板が、CoCrTaターゲットとCrターゲットに順次対向可能に構成する。このような装置で、基板をCoCrTaターゲットとCrターゲットに交互に静止対向させてスパッタリングを行い、CoCrTa膜とCr膜を順次成膜する。

請求項（抜粋）：

基板にCoCrTa膜その他の磁性膜を形成してなる磁気記録媒体において、前記CoCrTa膜その他の磁性膜がCr又はCr合金膜を挟んで複数層としてあることを特徴とする磁気記録媒体。

IPC (4件)：

G11B 5/66 , C23C 14/14 , C23C 14/34 , G11B 5/85

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-021921
特開平3-127329
特開平2-154323

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