特許

J-GLOBAL ID：200903041943524070

電子放出素子、該電子放出素子を用いた電子源並びに画像形成装置

発明者： 柴田 雅章 ,  元井 泰子 ,  饗場 利明 ,  中村 久美 ,  上野 理恵 ,  山野辺 正人
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-319289
公開番号（公開出願番号）：特開2000-311580
出願日： 1999年11月10日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【課題】 カーボン膜の熱的および化学的な安定性を向上し、良好な電子放出特性が長時間に渡り安定な電子放出素子を提供する。【解決手段】 基体1と、この基体表面上に、第一の間隙7を置いて配された第一および第二のカーボン膜10と、該第一および第二のカーボン膜10のそれぞれに電気的に接続した第一および第二の電極2,3とを有する電子放出素子であって、カーボン膜10が、配向性を有する領域を有し、該配向性を有する方向が、基体表面に対して略水平方向であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基体と、該基体表面上に、第一の間隙を置いて配された第一および第二のカーボン膜と、該第一および第二のカーボン膜のそれぞれに電気的に接続した第一および第二の電極と、を有する電子放出素子であって、該カーボン膜が、配向性を有する領域を有し、該領域の配向方向が、前記基体表面に対して略水平方向である、ことを特徴とする電子放出素子。

IPC (3件)：

H01J 1/316 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12

FI (3件)：

H01J 1/30 E ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 電界放出型冷陰極装置、その製造方法及び真空マイクロ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-249096   出願人：株式会社東芝