特許
J-GLOBAL ID：200903096314000946

電界放出型冷陰極装置、その製造方法及び真空マイクロ装置

発明者：
中本 正幸

中本 正幸 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-249096
公開番号（公開出願番号）：特開平10-149760
出願日： 1997年09月12日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】【課題】電界放出特性が均一で且つ低電圧駆動が可能で電界放出効率も高い電界放出型冷陰極装置を提供する。【解決手段】電界放出型冷陰極装置は、支持基板12と、支持基板12上に配設された電子を放出するための複数のエミッタ14とを有する。エミッタ14の夫々は、基本的に炭素の6員環の連なりから構成される複数のカーボンチューブ16から形成される。全カーボンチューブ16の70%以上は30nm以下の直径を有する。エミッタ14を形成するカーボンチューブ16の底部直径に対する高さの比を表すアスペクト比は、3以上で1×106 以下で、望ましくは、3以上で1×103 以下に設定される。カーボンチューブ16における炭素の6員環の周期は0.426nmまたは0.738nmの倍数である。
請求項（抜粋）：
支持部材と、前記支持部材上に配設された電子を放出するためのエミッタと、を具備し、前記エミッタがフラーレンまたはカーボンナノチューブを具備することを特徴とする電界放出型冷陰極装置。
IPC (2件)：
H01J 1/30 ,  H01J 9/02
FI (3件)：
H01J 1/30 F ,  H01J 1/30 A ,  H01J 9/02 B
引用特許：
審査官引用 (9件)
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