特許
J-GLOBAL ID：200903041954561830
窒化アルミニウムおよび半導体製造用装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-207556
公開番号（公開出願番号）：特開平9-110405
出願日： 1996年07月19日
公開日（公表日）： 1997年04月28日
要約：
【要約】【課題】窒化アルミニウムに焼結助剤や黒色化剤のような金属化合物、特に重金属化合物を添加することなく、窒化アルミニウムの明度を小さくし、その色を黒色に近づけることである。【解決手段】窒化アルミニウムの電子スピン共鳴法によるスペクトルにおいて不対電子のg値が2.0010以上である。好ましくは、g値が2.0040以上であり、窒化アルミニウムの主結晶相中にアルミニウム-アルミニウム結合が形成されており、主結晶相と、ALONからなる副結晶相とを備えている。または、窒化アルミニウムの電子スピン共鳴法によるスペクトルにおいて、アルミニウムの単位mg当たりのスピン量が5×101 2 spin/mg以下である。
請求項（抜粋）：
窒化アルミニウムの電子スピン共鳴法によるスペクトルにおいて不対電子のg値が2.0010以上であることを特徴とする、窒化アルミニウム。
IPC (4件)：
C01B 21/072
, C04B 35/581
, H01L 21/205
, H01L 21/324
C01B 21/072 R
, H01L 21/205
, H01L 21/324 D
, C04B 35/58 104 U
, C04B 35/58 104 Y
