特許

J-GLOBAL ID：200903041960344328

表面欠陥検査装置

発明者： 久保田 整 ,  小野 勝一 ,  山華 義博
出願人/特許権者： スズキ株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-189132
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023243
出願日： 1997年06月30日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】 被検査面に均一な検査光が照射でき、精度の高い表面欠陥の検査が可能な表面欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 曲面状の被検査物3の表面に所定パターンの検査光5を照射する照明手段7と、前記被検査物3からの反射光9を受光する受光手段11とを備えた表面欠陥検査装置1において、照明手段7として少なくとも2組の光源ユニット7a,7bを装備すると共に、これら各光源ユニットの相互間を当該光源ユニットの光軸の方向を可変設定する所定の曲折部材を介して連結した。

請求項（抜粋）：

曲面状の被検査物の表面に所定パターンの検査光を照射する照明手段と、前記被検査物からの反射光を受光する受光手段とを備えた表面欠陥検査装置において、前記照明手段として少なくとも2組の光源ユニットを装備すると共に、これら各光源ユニットの相互間を当該光源ユニットの光軸の方向を可変設定する所定の曲折部材を介して連結したことを特徴とする表面欠陥検査装置。

IPC (4件)：

G01B 11/30 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G06T 1/00

FI (4件)：

G01B 11/30 E ,  G01B 11/24 M ,  G01N 21/88 Z ,  G06F 15/62 380

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 照明装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-153950   出願人：松下電器産業株式会社