非接触搬送装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福田賢三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-044173
公開番号（公開出願番号）：特開2002-064130
出願日： 2001年02月20日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
要約：

【要約】【課題】装置の製造コストを低減することができ、また容易に小型化することができ、それにによって行動範囲も広げることができ、さらに省エネ化も実現することができる。【解決手段】この発明の非接触搬送装置1は、対象物を非接触で保持し搬送する装置であり、内周面が円周状もしくは多角形状の凹部3と、その凹部3開口側に形成した、対象物9と対向する平坦状端面2bと、供給流体を凹部3の内周面に臨む噴出口4から凹部3内へその凹部3の内周方向に沿って吐出させる流体通路5と、を備えることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

内周面が円周状もしくは多角形状の凹部と、上記凹部開口側に形成した、対象物と対向する平坦状端面と、供給流体を凹部の内周面に臨む噴出口から凹部内へその凹部の内周方向に沿って吐出させる流体通路と、を備えることを特徴とする非接触搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07

FI (2件)：

H01L 21/68 C , B65G 49/07 H

Fターム (14件)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031DA01 , 5F031FA01 , 5F031FA11 , 5F031GA02 , 5F031GA15 , 5F031GA28 , 5F031NA02 , 5F031NA04 , 5F031NA15 , 5F031PA18 , 5F031PA21 , 5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (7件)

物品ホルダ及び保持方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-010210 出願人：トルーサイテクノロジーズ,エルエルシー
特開平3-046250
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-161739 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

全件表示

前のページに戻る