特許
J-GLOBAL ID：200903042014885080
感光性ペースト組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 洋子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-342480
公開番号（公開出願番号）：特開平10-171107
出願日： 1996年12月06日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 水またはアルカリ水溶液で現像可能で、しかも長期保存安定性に優れる感光性ペースト組成物を提供する。【解決手段】 (1)水またはアルカリ水溶液に可溶な高分子バインダー、(2)光重合性モノマー、(3)光重合開始剤、(4)無機粉末、および(5)有機溶剤成分として3-メチル-3-メトキシブタノールを含有してなる、感光性ペースト組成物。
請求項（抜粋）：
(1)水またはアルカリ水溶液に可溶な高分子バインダー、(2)光重合性モノマー、(3)光重合開始剤、(4)無機粉末、および(5)有機溶剤として3-メチル-3-メトキシブタノールを含有してなる、感光性ペースト組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/004 501
, H01L 21/027
G03F 7/004 501
, H01L 21/30 502 R
