特許

J-GLOBAL ID：200903042031448930

静電チャック

発明者： 茂木 弘 ,  新井 健一 ,  小嶋 伸次 ,  久保田 芳宏
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 小島 隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-262861
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087479
出願日： 1997年09月10日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：

【要約】【解決手段】 電極の両側をセラミックスからなる絶縁性誘導体層で被覆してなる静電チャックにおいて、上記絶縁性誘導体層の被吸着物を吸着する側の表面に弾性変形能を有する弾性層を形成したことを特徴とする静電チャック。【効果】 本発明によれば、静電チャックの絶縁性誘導体層の吸着面に弾性変形能のある層を形成したことにより、応答特性を飛躍的に速くすることができるので、単位時間当たりの処理枚数が飛躍的に向上でき、高性能な静電チャックであるため半導体や液晶の製造プロセスに有用とされるという有利性が与えられる。

請求項（抜粋）：

電極の両側をセラミックスからなる絶縁性誘導体層で被覆してなる静電チャックにおいて、上記絶縁性誘導体層の被吸着物を吸着する側の表面に弾性変形能を有する弾性層を形成したことを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-000575   出願人：日新電機株式会社
• 特開昭59-064245