特許
J-GLOBAL ID：200903042032521916
感光性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-319588
公開番号（公開出願番号）：特開平11-153866
出願日： 1997年11月20日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 アルカリ現像が可能で、かつ光感度、解像性に優れた感光性組成物を提供する。【解決手段】 (A)下記一般式(1)および(2)で表される構造単位から成るヒドロキシポリアミド(式中R1は4価の芳香族基、R2,R4はそれぞれ独立に選ばれる2価の芳香族基であり、R3は2価の有機基。)(B)放射線照射により酸を発生する化合物、および(C)酸の作用により(A)のヒドロキシポリアミドを架橋し得る化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(1)および(2)で表される構造単位から成るヒドロキシポリアミドを100重量部、【化1】【化2】(式中R1は4価の芳香族基、R2、R4はそれぞれ独立に選ばれる2価の芳香族基であり、同じであっても異なっていても良い。R3は2価の有機基。a、bは各構造単位の百分率を示し、a:20〜100、b:0〜80、a+b=100である。)、(B)放射線照射により酸を発生する化合物を0.5〜20重量部、及び(C)酸の作用により上記(A)のヒドロキシポリアミドを架橋し得る化合物を3〜40重量部含有することを特徴とする感光性組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/038 504
, G03F 7/004 501
, H01L 21/027
, H01L 21/312
G03F 7/038 504
, G03F 7/004 501
, H01L 21/312 D
, H01L 21/312 B
, H01L 21/30 502 R
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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