特許

J-GLOBAL ID：200903042044052156

積層薄膜

発明者： 野口 隆男 ,  矢野 義彦
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-062864
公開番号（公開出願番号）：特開2000-256098
出願日： 1999年03月10日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：

【要約】【課題】 (100)配向、(001)配向または(111)配向を有するペロブスカイト型酸化物薄膜が容易に得られる手段を提供する。【解決手段】 バッファ層と、この上に成長したペロブスカイト型酸化物薄膜とを有し、前記バッファ層の前記ペロブスカイト型酸化物薄膜との界面が{111}ファセット面から構成されており、前記ファセット面とほぼ平行に、前記ペロブスカイト型酸化物薄膜の立方晶、菱面体晶、正方晶もしくは斜方晶の{110}面、正方晶もしくは斜方晶の{101}面、または斜方晶の{011}面が存在する積層薄膜。

請求項（抜粋）：

バッファ層と、この上に成長したペロブスカイト型酸化物薄膜とを有し、前記バッファ層の前記ペロブスカイト型酸化物薄膜との界面が{111}ファセット面から構成されており、前記ファセット面とほぼ平行に、前記ペロブスカイト型酸化物薄膜の立方晶、菱面体晶、正方晶もしくは斜方晶の{110}面、正方晶もしくは斜方晶の{101}面、または斜方晶の{011}面が存在する積層薄膜。

IPC (13件)：

C30B 29/32 ,  C30B 29/22 ,  H01L 21/316 ,  H01L 27/10 451 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 21/8247 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792 ,  H01L 37/02 ,  H01L 39/02 ZAA ,  H01L 39/02 ,  H01L 27/14

FI (10件)：

C30B 29/32 D ,  C30B 29/22 Z ,  H01L 21/316 B ,  H01L 27/10 451 ,  H01L 37/02 ,  H01L 39/02 ZAA B ,  H01L 39/02 ZAA D ,  H01L 27/10 651 ,  H01L 29/78 371 ,  H01L 27/14 K

Fターム (46件)：

4G077AA03 ,  4G077AA07 ,  4G077BB10 ,  4G077BC41 ,  4G077BC43 ,  4G077BC60 ,  4G077DA02 ,  4G077EC09 ,  4G077ED05 ,  4G077ED06 ,  4G077EF02 ,  4G077EF04 ,  4G077HA05 ,  4G077HA11 ,  4G077HA12 ,  4G077SA04 ,  4M114AA29 ,  4M114BB05 ,  4M114CC09 ,  4M118AB01 ,  4M118CA16 ,  4M118CB12 ,  4M118FC18 ,  5F001AA17 ,  5F058BA20 ,  5F058BD01 ,  5F058BD05 ,  5F058BD18 ,  5F058BF12 ,  5F058BF17 ,  5F058BF20 ,  5F058BJ01 ,  5F083FR05 ,  5F083GA27 ,  5F083GA30 ,  5F083JA02 ,  5F083JA12 ,  5F083JA13 ,  5F083JA14 ,  5F083JA15 ,  5F083JA17 ,  5F083JA43 ,  5F083JA44 ,  5F083JA45 ,  5F083PR05 ,  5F083PR22

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 積層薄膜およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-106776   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 単結晶性薄膜の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-268776   出願人：住友電気工業株式会社, 東京電力株式会社